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黑色石英舟
应用领域:用于扩散和镀膜等工艺设备承载硅片。
产品特性:采用独特专利黑色石英材料,通过高精度机械组装而成的黑色石英舟,能在高温化学品沉 积环境下大幅延长使用寿命,使其寿命超过14个月。